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低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱(chēng)冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率Z大、極限壓力Z低的清潔真空，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。

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SHZ-III循環(huán)水真空泵特點(diǎn)：此泵具有不用油、無(wú)污染、噪音低、移動(dòng)方便等優(yōu)點(diǎn)；采取雙抽頭，可單獨(dú)或并聯(lián)使用，裝有兩個(gè)真空表。儲(chǔ)水箱和主要部件采用新研制特殊防腐工程塑料，機(jī)內(nèi)連接的主管道選用全不銹鋼，耐腐蝕，耐溶解。